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ナノ形態の制御

原子や分子の蒸気が固体表面で凝集するプロセスを理解してそれを利用することで,10-8 mレベルの微小な要素の形を制御します.

独自に開発した装置を用いてナノ要素を作る:

真空中で金属や酸化物の蒸気をガラスやSiの基板に斜めの方向から堆積すると,小さな柱状構造が自然に成長します.基板の方位を変えてやると,らせんやジグザグなどいろいろな形を作ることができます.

独自に開発したプログラムによるプロセスの設計:

どうすれば欲しい形,欲しい特性が得られるかをオリジナルのコンピュータシミュレータを使って考え,具体的な作り方を設計します.

独自のシミュレータ


M. Suzuki and Y. Taga, “Numerical study of the effective surface area of obliquely deposited thin films,” J. Appl. Phys. 90 (11), 5599-5605 (2001).

光学フィルタの設計


K. Kaminska, M. Suzuki, K. Kimura, Y. Taga, and K. Robbie, “Simulating structure and optical response of vacuum evaporated porous rugate filters,” J. Appl. Phys. 95 (6), 3055-3062 (2004).

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